Статьи из рубрики "МЭМС-технологии: теория и практика"

Методика проектирования микромеханического датчика на основе комплексной системной модели

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 18
  • 1153
  • Страницы: 79-92

Ёмкостные МЭМС-микрофоны для медицинского применения

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 32
  • 1241
  • Страницы: 65-78

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 17
  • 1271
  • Страницы: 49-64

Методика компактного моделирования термоэлектрических систем

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 10
  • 1085
  • Страницы: 29-48

Применение РЧ МЭМС-технологии в современных беспроводных системах: потенциал, который ещё полностью не раскрыт

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 18
  • 1156
  • Страницы: 16-28

Цифровые МЭМС-микрофоны для системы дистанционного мониторинга на основе анализа звука

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 27
  • 1245
  • Страницы: 8-15