График выхода журналов
  • №2 Июнь 2023
  • №3 Сентябрь 2023
  • №4 Декабрь 2023
Козлов Алексей Сергеевич
  • Место работы
    ЦНИИ «ЭЛЕКТРОПРИБОР»
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Методика проектирования микромеханического датчика на основе комплексной системной модели

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 26
  • 1968
  • Страницы: 79-92