Стяжкина Анна Васильевна
  • Место работы
    ЦНИИ «ЭЛЕКТРОПРИБОР»
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Методика проектирования микромеханического датчика на основе комплексной системной модели

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 21
  • 1388
  • Страницы: 79-92