График выхода изданий
  • №2 Июнь 2024
  • №3 Сентябрь 2024
  • №4 Декабрь 2024
Стяжкина Анна Васильевна
  • Место работы
    ЦНИИ «ЭЛЕКТРОПРИБОР»
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Методика проектирования микромеханического датчика на основе комплексной системной модели

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 32
  • 2914
  • Страницы: 79-92