Акульшин Юрий Дмитриевич
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • 195251, Россия, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 29.

Бета-вольтаический МЭМС-преобразователь энергии

SEMICON Россия 2014
  • Год: 2014
  • Выпуск: 5
  • 2494
  • 7317
  • Страницы: 35-42

Многофункциональные тепловые МЭМC-датчики

SEMICON Россия 2014
  • Год: 2014
  • Выпуск: 5
  • 500
  • 4183
  • Страницы: 43-52

Технологии и разработки лаборатории НМСТ

SEMICON Россия 2014
  • Год: 2014
  • Выпуск: 5
  • 498
  • 4303
  • Страницы: 53-61

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 20
  • 1530
  • Страницы: 49-64