Шашкин Александр Викторович
  • Место работы
    Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 20
  • 1476
  • Страницы: 49-64