Информатика, телекоммуникации и управление
Информатика, телекоммуникации и управление Cанкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Издается с 2008
ISSN 2687-0517
ru Русский
Версия для слабовидящих
Автор Клейманов Роман Валерьевич
Подать статью
График выхода изданий
  • №2 Июнь 2025
  • №3 Сентябрь 2025
  • №4 Декабрь 2025
Последние выпуски
Клейманов Роман Валерьевич
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
Казакин А.Н. Клейманов Р.В. Коршунов А.В. Акульшин Ю.Д. Шашкин А.В.
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 51
  • 5250
  • Страницы: 49-64