Клейманов Роман Валерьевич
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 20
  • 1476
  • Страницы: 49-64