Коршунов Андрей Васильевич
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • 195251, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 29, СПбГПУ

Технологии и разработки лаборатории НМСТ

SEMICON Россия 2014
  • Год: 2014
  • Выпуск: 5
  • 498
  • 6113
  • Страницы: 53-61

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 41
  • 3745
  • Страницы: 49-64