График выхода изданий
  • №4 Декабрь 2024
  • №1 Март 2025
  • №2 Июнь 2025
  • №3 Сентябрь 2025
Шашкин Александр Викторович
  • Место работы
    Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова
  • Санкт-Петербург, Российская Федерация

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 48
  • 4367
  • Страницы: 49-64