График выхода изданий
  • №4 Декабрь 2024
  • №1 Март 2025
  • №2 Июнь 2025
  • №3 Сентябрь 2025
Коршунов Андрей Васильевич
  • Место работы
    Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
  • 195251, Санкт-Петербург, ул. Политехническая, д. 29, СПбГПУ

Технологии и разработки лаборатории НМСТ

SEMICON Россия 2014
  • Год: 2014
  • Выпуск: 5
  • 498
  • 6517
  • Страницы: 53-61

Технологии герметизации щелочной газовой МЭМС ячейки для миниатюрных атомных часов

МЭМС-технологии: теория и практика
  • Год: 2021
  • Том: 14
  • Выпуск: 2
  • 48
  • 4240
  • Страницы: 49-64