Применение РЧ МЭМС-технологии в современных беспроводных системах: потенциал, который ещё полностью не раскрыт

На сегодняшний день одним из ключевых драйверов (триггеров) развития научно-исследовательских и опытно-конструкторских разработок в области электроники, радиочастотных компонентов и систем, системной интеграции и проектирования, а также информационно-коммуникационных технологий являются такие концепции сети передачи данных, как Интернет Вещей, Интернет Всего, Тактильный Интернет и наиболее важный среди них – 5G – пятое поколение мобильной радиосвязи. В статье представлено видение использования устройств, изготовленных с применением технологии микроэлектромеханических систем: пассивных радиочастотных микроэлектромеханических устройств и систем в синергии с энергособирающими микроэлектромеханическими устройствами и системами в новых структурных парадигмах. Представлены результаты разработки, изготовления и исследования экспериментальных образцов радиочастотных микроэлектромеханических переключателей, способные удовлетворить растущую потребность в ультрасовременной производительности для развертываемых в настоящее время мобильных сетей 5G NR FR1 (менее 6 ГГц) или высокопроизводительных приложений.