Технологии и разработки лаборатории НМСТ

SEMICON Россия 2014
Авторы:
Акульшин Юрий Дмитриевич Глуховской Анатолий Викторович Казакин Алексей Николаевич Козлов Владислав Петрович Коршунов Андрей Васильевич Комаревцев Иван Михайлович Лурье Михаил Семенович Пятышев Евгений Нилович
Аннотация:

Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ в области разработки технологий и МЭМС-преобразователей различного назначения.