Разработка монолитных интегральных схем полосовых СВЧ фильтров S- и С-диапазонов

В данной статье рассматривается разработка монолитных интегральных схем полосовых фильтров S- и C-диапазона от моделирования до измерения экспериментальных образцов в рамках технологии pHEMT05D. Разработаны полосовые фильтры с центральными частотами 2,5, 3 и 5 ГГц с относительной шириной полосы пропускания 40% и подавлением в полосе заграждения не менее –30 дБ. При разработке топологии применялись методы оптимизации по требованиям к частотным характеристикам. Предложены два варианта проведения измерений экспериментальных образцов: с разваркой на платы посредством станции Kulicke & Soffa 4256 и с пластины посредством зондовой станции Cascade Microtech EP6RF. Измерения проводились при помощи векторного анализатора цепей Rohde Schwarz ZVA40. Полученные образцы показали отклонения по частотным характеристикам около 10% и увеличение потерь в полосе пропускания в пределах 2 дБ. Продемонстрирована высокая повторяемость результата в пределах изготовленной пластины, что подтверждает стабильность полученного результата.