Многофункциональные тепловые МЭМC-датчики

SEMICON Россия 2014
Авторы:
Акульшин Юрий Дмитриевич Глуховской Анатолий Викторович Казакин Алексей Николаевич Комаревцев Иван Михайлович Лурье Михаил Семенович Пятышев Евгений Нилович
Аннотация:

Представлены результаты работ лаборатории нано- и микросистемной техники СПбГПУ по созданию и исследованию тепловых МЭМС-датчиков различного функционального назначения. Датчики реализованы на основе разработанного базового  МЭМС-преобразователя и технологии его изготовления.