Магнитные MEMS

SEMICON Россия 2014
Авторы:
Кайзер Маттиас Винеке Аня Вюрц Марк Риссинг Лутц Бельски Александр Гритцбург Том Грисбах Тим
Аннотация:

В течение последних 25 лет магнитные микроэлектромеханические системы (МЭМС) приобрели важное значение в различных областях. Сегодня, например, магнитные МЭМС являются частью сенсорной сети в автомобилях. Так, магнитные датчики измеряют скорость вращения колес и генерируют информацию, необходимую для антиблокировочных систем или для электронных систем стабилизации. Магнитные датчики также используются для измерения угла перемещения колеса в качестве чувствительного элемента в системах привода проводного типа. Другой важной областью применения является отрасль бытовой электроники. Датчики МЭМС используются как часть электронных компасов. Существует много других примеров применения магнитных датчиков и исполнительных механизмов. Мы представим некоторые примеры для магнитных датчиков и исполнительных механизмов, разработанных в течение последних четырех лет в Институте производственных микротехнологий (IMPT) Университета Ляйбница в Ганновере.