Химическое осаждение из газовой фазы слоев Ni из бис- (этилциклопентадиенил) никеля

Электроника, технологии производства материалов электронной техники
Авторы:
Протопопова В.С. Александров С.Е.
Аннотация:

Представлены результаты исследований процесса химического осаждения из газовой фазы слоев никеля из металлоорганического соединения бис- (этилциклопентадиенил) никеля (ЭЦПН). Показана возможность использования ЭЦПН для ХОГФ синтеза Ni тонких слоев. Изучены зависимости изменения скорости роста, морфологии, состава Ni слоев от технологических параметров для газовых систем ЭЦПН — Ar и ЭЦПН — Ar — H2.