Химическое осаждение из газовой фазы слоев Ni из бис-(этилциклопентадиенил) никеля
Авторы:
Аннотация:
Представлены результаты исследований процесса химического осаждения из газовой фазы слоев никеля из металлоорганического соединения бис-(этилциклопентадиенил) никеля (ЭЦПН). Показана возможность использования ЭЦПН для ХОГФ синтеза Ni тонких слоев. Изучены зависимости изменения скорости роста, морфологии, состава Ni слоев от технологических параметров для газовых систем ЭЦПН - Ar и ЭЦПН - Ar - H2.