Высокая устойчивость дифференциальных сенсоров давления серии LBA к пылевому загрязнению

SEMICON Россия 2014
Авторы:
Аннотация:

В статье представлены результаты экспериментального сравнения дифференциальных сенсоров давления серии LBA компании First Sensors с иными сенсорами, в которых использован тот же принцип действия (термо-анемометрические, безмембранные): перепад давления определяется методом продувки газа через сенсор.