Химическое осаждение из газовой фазы диэлектрических пленок политетрафторэтилена
Авторы:
Аннотация:
Рассмотрена конструкция экспериментального реактора, созданного для изучения процесса химического осаждения из газовой фазы пленок политетрафторэтилена с активацией окиси гексафторпропилена на накаленной вольфрамовой нити. Представлены результаты, подтверждающие возможность осаждения политетрафторэтилена, и некоторые зависимости характеристик пленок от условий процесса осаждения.